コンビナトリアル薄膜材料科学

　材料開発を短期間で系統探索する手法は，創薬，バイオの分野でいち早く確立された。コンビナトリアルケミストリーと呼ばれる分野で，物性が少しずつ異なる物質を大量･系統的に作製する手法である。

　電子分野においても，これを模したコンビナトリアル薄膜材料科学の研究分野が広がっている。半導体製造は３２nmノード以降では，新材料の開発･導入が必須である。コンビナトリアル研究分野では，試料作成装置の開発のみならず，試料を評価･解析する装置開発も重要である。より詳細で精密な分析・解析を大量に，素早く提供することが望まれている。

　『電子材料』６月号特集では，検査･計測技術のいくつかの事例を紹介した。（６月号編集後記より）